2022年富樂德研究報告 深耕泛半導體精密洗凈，延伸布局業態完善

一、富樂德：國內泛半導體設備精密洗凈領先服務商

（一）深耕泛半導體精密洗凈，延伸布局業態完善

安徽富樂德科技發展股份有限公司成立于2017年，是一家泛半導體領域（半導體、 顯示面板等）設備精密洗凈服務提供商。公司前身為上海申和表面處理事業部，是 國內最早從事半導體設備洗凈服務業務的團隊之一。2003年，上海申和表面處理事 業部成功量產ETCH(蝕刻)、DIFF(擴散)、LITHO(光刻)等半導體零件清洗和8英寸 350nm制程設備清洗。2005年，團隊開始清洗TFT部件，在顯示面板設備洗凈領域 取得突破。2015年后，伴隨中國大陸泛半導體行業進入快速發展期，公司泛半導體 設備洗凈業務規模亦迅速擴大，已發展為國內泛半導體領域設備洗凈技術及洗凈范 圍（洗凈標的物品類）領先的服務企業之一。

聚焦半導體和顯示面板兩大領域，延伸布局三大業務板塊。公司以高質量精密洗凈 服務為核心，不斷延伸業務范圍，已逐漸形成綜合的泛半導體設備精密洗凈服務業 態，涵蓋半導體設備洗凈服務、顯示面板設備清洗服務和半導體設備維修服務三大 業務板塊。在半導體領域，公司業務覆蓋PVD、CVD、擴散、光刻和蝕刻等設備的 清洗和衍生增值服務，并提供半導體設備維修服務。在顯示面板領域，公司可提供 TFT設備洗凈、OLED設備洗凈、陶瓷熔射再生和陽極氧化再生等多種服務。憑借較 強的業務拓展能力、先進的技術和豐富的服務經驗，公司已發展為中國大陸地區少 數具有國際競爭力的泛半導體設備精密洗凈服務提供商，服務得到眾多國內外主流 泛半導體廠商的認可，并取得良好的市場口碑。

（二）Ferrotec 為控股股東，半導體制造“隱形冠軍”控股助力公司成 長

公司無實際控制人，Ferrotec為間接控股股東。截至2022年12月22日，上海申和直 接及間接共控制富樂德 78.81%的表決權，為公司控股股東。同時，上海申和為日本 上市公司Ferrotec（日本磁性技術控股股份有限公司）的全資子公司，而Ferrotec的 股權較為分散，不存在控股股東和實際控制人，進而使得公司不存在實際控制人。

Ferrotec為半導體制造“隱形冠軍”，產業積淀深厚助力富樂德成長。Ferrotec成立 于1980年，是日本JASDAQ上市公司。Ferrotec是半導體用石英器件、硅器件、陶瓷 器件、CVD-SiC器件等細分市場的全球頭部供應商，產品廣泛應用于應用材料等龍 頭半導體設備廠商和全球主要晶圓制造廠商，具有深厚的產業積淀和客戶資源。 Ferrotec控股富樂德有助于形成較好的產業協同和客戶資源復用，助力富樂德的長期 穩健成長。

（三）營收持續穩健增長，半導體業務發展勢頭良好

營收規模穩健增長，盈利能力較為穩定。2018-2021年，公司收入規模實現穩定增長， 營收分別為1.35、3.22、4.83和5.69億元，年均復合增長率為61.5%。公司營收持續 增長一方面得益于國內外泛半導體產業的高速發展，特別是國內產能的逐步提升， 為本土相關生產設備的精密洗凈帶來較大市場需求；另一方面也由于公司正處業務 快速發展期，隨著各新建生產基地投產，公司設備洗凈服務能力不斷增強，收入規 模亦均增長較快。2019-2021年，公司主營業務毛利率和凈利率受會計準則調整、新 品初步導入和市場競爭加劇的影響略有下降。未來伴隨公司新品持續放量、高制程 清洗的增加和規模效應的逐漸顯現，公司盈利水平有望繼續保持穩定。

設備洗凈服務貢獻主要營收，半導體領域業務發展勢頭良好。公司主營業務結構較 為穩定，主要來自半導體及顯示面板領域設備洗凈服務，2019-2021年二者合計占收 入比重達70%以上。其中，受國內半導體廠商開工率充足、清洗服務量上升的驅動， 公司半導體設備洗凈服務業務收入占比已由2019年的30.13%上升至2022H1的 46.72%，毛利率已由2019年的32.88%上升至2022H1的46.83%，發展勢頭良好。同 時，伴隨公司半導體設備維修服務（即HS翻新服務）品質逐步得到市場認可，該業 務收入規模亦呈快速增長態勢，占比已由2019年的12.73%上升至2022H1的18.92%。 受市場格局競爭和公司業務拓展影響，公司顯示面板設備清洗服務板塊毛利率有所 下降，未來隨著公司進一步優化業務結構、逐步進入穩定生產階段，該項業務盈利 能力有望逐漸趨于穩定。

二、精密洗凈行業：泛半導體制造必要需求，技術升級 +產能轉移驅動本土精密洗凈市場成長

（一）精密洗凈是泛半導體制造過程中必不可少的需求

精密洗凈服務是工業清洗行業的重要分支。工業清洗指工業產品或零部件在生產中 表面受物理、化學或生物作用而形成污染物或覆蓋層，去除這些污染物或覆蓋層使 其恢復原表面狀態的過程。隨著生產的發展和科學的進步，在工業清洗領域不斷有 專門化的新洗凈技術出現，精密洗凈服務隨之逐步發展起來。精密洗凈意味著按照 非常嚴格的標準進行清洗，對剩余顆粒或其他污染物容忍度非常低（顆粒尺寸小于 0.3微米），通常在環境嚴格控制的潔凈室進行清潔。

根據清洗方法的不同，精密洗凈可分為物理清洗和化學清洗。物理清洗是指利用力 學、聲學、光學、電學、熱學的原理，依靠外來能量的作用，如機械摩擦、超聲波、 負壓、高壓沖擊、紫外線、蒸汽等去除物體表面污垢的方法。化學清洗是指依靠化學 反應的作用，利用化學溶劑清除物體表面污垢的方法。在實際應用過程中，通常將 兩者結合起來使用，以獲得更好的洗凈效果。

泛半導體精密洗凈需保持與泛半導體產業工藝的協同發展，具有技術壁壘高、更新 迭代快的特點。在半導體和顯示面板等泛半導體產品制造過程中，通過精密洗凈來 進行有效的污染控制，是保證和提高產品良率的必要條件；同時，泛半導體制造工 藝的技術進步，反過來也會推動泛半導體專用設備的技術革新，從而帶動上游設備 清洗服務提供商洗凈技術工藝的不斷提升，體現為“一代器件、一代設備、一代洗凈 工藝”。例如，在半導體制造中，顆粒必須小于最小器件特征尺寸的一半，大于這個 尺寸的顆粒會引起致命缺陷，因此，芯片尺寸及線寬的不斷縮小，需要洗凈技術控 制的污染物顆粒更小、潔凈度控制更高。在面板制造中，面板從小尺寸低世代向大 尺寸高世代方向發展，也對精密洗凈廠商的大尺寸洗凈能力提出更高要求。

定期對半導體設備洗凈是芯片制造必不可少的環節，精密洗凈服務覆蓋其中晶圓制 造的七大工藝步驟。半導體專用設備泛指用于生產各類半導體產品所需的生產設備， 在生產過程中，半導體設備部分零部件表面會沉積覆著物或被刻蝕副產物污染，為 確保生產功效，定期對半導體設備進行洗凈，是芯片制造過程中必不可少的環節。 應用于集成電路領域的設備通常分為前道工藝設備（晶圓制造）和后道工藝設備（封 裝測試）兩大類，目前僅晶圓制造設備為洗凈服務的對象。在前道晶圓制造中，共有 七大工藝步驟：氧化/擴散、光刻、刻蝕、離子注入、薄膜生長、清洗與拋光、金屬 化，對應的專用設備主要包括氧化/擴散設備、光刻設備、刻蝕設備、清洗設備、離 子注入設備、薄膜沉積設備、機械拋光設備等。

精密洗凈服務是顯示面板制造的必備環節，覆蓋三大工藝步驟。TFT顯示面板專用 設備泛指基于TFT薄膜晶體管作為驅動單元發展起來的用于生產各類顯示面板類產 品所需的生產設備。與半導體產品生產類似，TFT面板生產過程中，其生產設備零部 件表面也會被污染，定期對主要生產設備進行洗凈也是TFT面板制造的必備環節。目 前主流面板產品有LCD和OLED兩種類型，其生產工序可分為三大步驟：TFT陣列、 cell成盒、后端組裝，所對應的專用設備主要包括蒸鍍設備（OLED）、光刻設備、 刻蝕設備、清洗設備、離子注入設備等。

（二）技術升級與產能轉移雙重驅動，國內泛半導體設備精密洗凈市場成 長空間廣闊

集成電路向先進制程方向演進，洗凈服務市場有望量價齊升。伴隨集成電路產業向 先進制程方向演進，晶圓生產制造呈現工藝節點縮小、結構立體化及工藝復雜化的 發展趨勢，這一方面使得相關工序步驟大幅增加，根據SEMI數據，20納米工藝所需 工序約為1,000道，而7納米工藝所需工序已超過1,500道，工藝的復雜帶動半導體設 備精密洗凈服務市場的需求量增長。另一方面，半導體專用設備向高精密化與高集 成化方向發展，對生產過程中的污染控制要求提出更高的需求，半導體領域洗凈服 務的投入及重要性上升，相應的洗凈服務價格亦有望提高。

國內半導體設備自主化進程已開啟，為國內半導體精密洗凈服務帶來成長機遇。目 前中國大陸正在承接第三次半導體產業轉移，根據國際半導體協會(SEMI)的統計數 據，全球半導體行業將在2021至2023年間開始建設的84個大規模芯片制造工廠中， 預計中國大陸新建芯片制造工廠數量20座，多于其他地區。由于海外設備對華禁售 持續升級，本土晶圓廠將有望加速國產設備導入認證過程，國產設備的成長發展將 使國內泛半導體精密洗凈服務企業將有更多機會、更早階段參與到客戶的技術更新 和設備引進中，從而迎來更多市場機會。

在新型顯示技術驅動下，顯示面板領域洗凈服務具有長期成長動能。未來面板行業 AMOLED滲透率有望不斷提升，而AMOLED半導體顯示面板生產和組裝的精度要求 較高（達到微米級），產品品質要求日益嚴格，對配套提供洗凈服務企業的技術和工 藝也提出更高要求，加速推動洗凈技術的迭代更新，有望帶來洗凈服務企業經濟效 益提升。同時，隨著顯示技術革新和產品迭代，下游潛在洗凈設備范圍逐步擴大。小 間距LED、Mini LED、Micro LED等高密度LED顯示屏產品對顯示響應速度、液晶屏 幕厚度、顯示視角等技術要求較高，上述特點決定其對生產過程潔凈度、設備污染 控制要求較高，相關易受污染生產設備有望成為未來洗凈服務企業的服務對象。

國產廠商領跑全球LCD行業，為國內精密洗凈服務企業帶來更多市場機會。在顯示 面板領域，伴隨著韓國廠商LG顯示和三星顯示(SDC)相繼退出LCD產業，預示著在 日本、韓國和中國之間多年的屏幕競爭終于落下了帷幕。當前京東方等國產廠商領 跑全球LCD行業，面板產能大規模向中國大陸轉移，未來大陸全球市場份額有望不 斷追趕韓系廠商，國內安卓系終端客戶不斷增長的趨勢也為大陸顯示面板廠商提供 了更多增量，有望帶動本土產業鏈全面崛起，為面板設備的國產化以及下游設備清 洗服務帶來歷史機遇。

技術迭代、產能轉移與終端需求增長等多重因素驅動下，國內精密洗凈服務市場規 模空間廣闊。在物聯網、人工智能、汽車電子、云計算、大數據和安防電子等新興領 域強勁需求的帶動下，全球泛半導體行業市場規模不斷擴大，精密洗凈服務作為這 些應用行業中不可或缺的必要環節，將直接受益于其持續強勁的市場需求。同時， 集成電路和顯示面板產業技術不斷更新迭代，精密洗凈服務的需求量和價值量持續 提升，并伴隨中國大陸下游產能的持續增加，國內泛半導體精密洗凈行業具備廣闊 的成長空間。根據芯謀研究數據，2020年國內泛半導體零部件清洗市場總計26億元 人民幣，預計到2025年將增加到43.4億元，年均復合增速達到10.8%。

（三）富樂德、世禾科技為中國大陸綜合競爭力較強的精密洗凈廠商

技術覆蓋程度、工廠區域布局與客戶資源是衡量精密洗凈廠商核心競爭力的重要指 標。半導體和顯示面板生產設備類型多樣，不同設備運行中產生的冗余物、所需要 的洗凈技術有明顯區別，這對精密洗凈廠商的洗凈技術覆蓋程度帶來了較高的要求。 精密洗凈業務包含較多的對客戶現場服務，行業具有明顯的區域性和服務半徑限制， 精密洗凈廠商通過多區域布局才能輻射服務不同地區的下游客戶。此外，精密洗凈 行業沒有統一的洗凈標準，客戶端的合作認可是精密洗凈廠商綜合實力最直接的體 現。因此，在精密洗凈行業內，廠商的技術覆蓋程度、工廠區域布局、客戶資源是衡 量廠商核心競爭力的重要指標。 海外龍頭在中國大陸布局較少，富樂德與世禾技為中國大陸競爭力較強的精密洗凈 廠商。Quantum Clean、KoMiCo和Pentagon Technologies為全球行業領先的精密 洗凈廠商，其中Quantum Clean和Pentagon Technologies在中國大陸尚未（自行） 開展設備洗凈服務業務，KoMiCo以高美可科技（無錫）有限公司為服務實施主體， 主要配套海力士。在中國大陸市場中，富樂德和世禾科技是技術覆蓋面較為全面、 工廠布局廣、下游客戶資源豐富的精密洗凈廠商，綜合競爭實力較強；其余廠商則 存在主要客戶、工廠分布和技術覆蓋較為單一的特點。

三、成長邏輯：一站式洗凈服務強化優勢，優質大客戶資源助力成長

（一）持續豐富業務布局，一站式精密洗凈服務解決方案優勢顯著

持續拓展業務能力，可提供一站式設備精密洗凈服務。公司是國內最早從事精密洗 凈服務的企業之一，長期專注于泛半導體領域設備精密洗凈服務，并持續進行業務 實踐與服務拓展，半導體和面板設備洗凈服務不斷向高制程和高世代設備洗發展， 同時逐漸拓展了陶瓷熔射、半導體設備維修、氧化加工業務等精密洗凈衍生增值業 務，已具備為客戶提供一站式設備精密洗凈服務解決方案的能力。

在半導體裝備領域，公司已形成除光刻機外的其他各類半導體設備的成熟清洗方案。 公司在半導體設備領域的服務范圍廣泛，集成電路制造過程中的氧化/擴散（擴散爐、 氧化爐、外延生長設備）、 光刻（溶膠顯影設備、涂膠設備）、刻蝕（介質、金屬、 邊緣刻蝕設備）、離子注入、薄膜生長（金屬沉淀設備、介質層沉積設備、原子層沉 積設備、電鍍設備）、機械拋光等設備均系公司洗凈服務對象，幾乎涵蓋集成電路 2/3工序的生產設備定期維護，形成了除光刻機外的其他各類半導體生產設備的成熟 清洗工藝。

在顯示面板設備洗凈領域，公司在設備洗凈和洗凈再生兩方面均形成了較為全面的 解決方案。公司TFT設備洗凈服務覆蓋了從G4.5到G10.5代次的全階段沉積和刻蝕設 備，涉及設備腔體擋板、玻璃運載裝置、Mask等約1,500款零部件產品的清洗服務； OLED設備洗凈服務覆蓋了硅基微顯示蒸鍍設備及G4.5/G5.5/G6代次的蒸鍍及離子 注入設備，涉及設備腔體擋板、點源坩堝、線源坩堝等約900款零部件產品清洗服務。 同時，公司亦可為顯示面板制造客戶提供陽極氧化、陶瓷熔射、OPEN MASK清洗等 較為全面的洗凈再生解決方案。

（二）注重技術積累與研發投入，技術實力綜合評分位于國內行業前列

持續投入技術研發構建自主知識產權體系，夯實技術壁壘。公司始終重視技術積累 和研發投入，持續提高洗凈工藝技術和技能，在提升客戶產品良率和降低客戶成本 等方面不斷進行創新，研發費用和研發人員數量逐年增長。2019-2021年公司研發投 入分別為0.18億元、0.27億元、0.35億元，分別占營業收入的比重為5.70%、5.60%、6.24%；研發技術人員數量已從2019年末的85人增加至2022年H1的125人。公司已 構建了洗凈業務較為完善的自主知識產權體系，截至2022年12月12日，公司及子公 司擁有已獲授予專利權181項，其中發明專利共計20項。

公司核心技術儲備豐富，具有較強的競爭優勢和較大的市場影響力。公司研發實力 雄厚，已在化學清洗配方、表面處理工藝、清洗污染物的控制等核心環節都擁有了 自主研發的核心技術，在如何有效去除沉積物、減少對設備的腐蝕、提升零部件平 均清洗再生次數、降低精密制程部件的清洗損耗、降低金屬元素和離子污染、提升 表面潔凈度和顆粒度管控能力等方面積累了較為豐富的經驗，并在提升客戶產品良 率和降低客戶成本等方面不斷進行技術創新，具有較強的競爭優勢和較大的市場影 響力。

公司堅持差異化競爭和創新戰略，技術實力綜合評分已居國內行業前列。經過近20 年的經營發展和技術創新，公司在顯示面板領域已完成高世代TFT LCD、OLED設備 常規部件洗凈業務的全面開展及穩定量產，具備滿足客戶全方位洗凈需求的能力， 常規類型產品清洗損耗能控制在30微米內、精密制程部件清洗損耗能控制在1微米下、 污染性離子含量控制在ppm級及以下、顆粒度管控要求能滿足0.3微米下。在半導體 設備領域，公司已掌握了28/14nm制程PVD部件清洗再生技術，儲備的半導體7nm部品清洗工藝已較為成熟，成功打破了日韓和歐美國家技術壟斷。根據芯謀研究的評 分，公司的技術實力綜合評分已位于國內市場前列，在半導體非刻蝕和面板非刻蝕 領域中的競爭優勢明顯。

（三）大客戶資源助力公司長期穩健發展，市場影響力和市占率逐步提升

公司先發優勢明顯，已積累眾多知名優質客戶群。公司前身上海申和表面處理事業 部成立于2000年，是國內較早進入精密洗凈及再生領域的企業。憑借在業內多年的 耕耘，公司積累了豐富優質的客戶資源，已取得應用材料、泛林集團、愛發科、東京 電子等全球知名半導體設備廠商的認證，并建立了廣泛的業務合作關系。同時，公 司也與下游晶圓代工企業、顯示面板制造企業合作緊密，客戶涵蓋英特爾、臺積電、 中芯國際、華虹半導體、三星電子、京東方、華星光電、天馬等主流晶圓代工和顯示 面板制造企業，具備較為明顯的先發優勢和新服務的快速滲透推廣能力。

下游頭部客戶市場需求多且穩定，為公司長期成長提供了廣闊空間。公司與臺積電、 中芯國際、英特爾、華星光電、京東方等國內外眾多優質晶圓廠、顯示面板制造企業 建立了穩定而廣泛的合作關系。從主要客戶的洗凈業務量看，根據芯謀研究數據， 京東方作為面板界的龍頭企業，每年的洗凈費用累計超過6億人民幣，中芯國際、華 虹集團每年的洗凈費用分別為2億、1.5億人民幣。公司服務于下游半導體、顯示面板領域頭部廠商，下游頭部客戶對洗凈服務有穩定且較大的需求，這為公司的長期成 長提供了廣闊的空間。

市場拓展持續推進，市場競爭力不斷提升。憑借在精密洗凈市場多年的耕耘積累， 公司已具備了豐富的產業經驗和優良的聲譽，與下游頭部客戶的成功合作經歷也為 公司在業界形成了較好的品牌示范效應，公司的客戶群體得以進一步豐富，前五大 客戶的營收占比逐年降低。同時，公司的市場影響力、市占率逐年提升，根據芯謀研 究數據，公司在國內泛半導體設備洗凈市場市占率約20%，領先于其他廠商。

（四）募投項目擴展深化公司現有業務，進一步強化公司核心競爭力

公司首次公開發行8460萬股人民幣普通股，約占發行后總股本的25%，募集資金投 資項目均圍繞公司主營業務展開：陶瓷熔射及研發中心項目總投資額為1.2億元、陶 瓷熱噴涂產品維修項目總投資額為1.56億元、研發及分析檢測中心擴建項目總投資 額為0.58億元、補充流動資金億元0.8億元。本次發行募集資金投資項目與公司現有業務聯系密切，是從公司戰略角度出發，是對公司現有業務的擴展和深化，可以進 一步強化公司核心競爭力。

通過實施陶瓷熔射及研發中心項目，公司一方面將對現有的洗凈及再生服務產能進 行擴充，持續鞏固原有應用領域的競爭優勢和市場地位；另一方面將適時把握下游 行業制造技術和工藝提升帶來的洗凈再生增值領域發展機遇，積極拓展陽極氧化再 生、陶瓷熔射再生、部件維保等洗凈再生增值服務。同時，通過對銅陵現有的研發中 心進行擴建，公司洗凈及再生工藝水平有望得到提升，以滿足下游客戶愈益嚴格的 洗凈量化指標要求。

陶瓷熱噴涂產品維修項目為公司針對西南區域市場開展精密洗凈增值服務條件日趨 成熟背景下，進行的產品線延伸與升級舉措。公司將全面深化與主機廠（應用材料、 泛林集團、東京電子等）的合作，積極挖掘并全力培育增值服務項目，通過新建洗凈 及再生車間，引進先進的洗凈、分析檢測設備，并配套建設相應的辦公、環保等設 施，以提升公司在TFT-LCD、OLED洗凈及增值業務領域的競爭力。

研發及分析檢測中心擴建項目將重點對標半導體領域內的知名企業的分析檢測能力， 提升公司在化學組分、物質結構、理化性能等領域的分析檢測能力。公司將通過對 現有的上海分析檢測實驗室進行擴建，積極引入人才，組建完整的分析檢測團隊， 檢測范圍涵蓋零部件潔凈度檢測、原材料檢測、材料形貌及力學分析、無塵室環境 檢測等。項目的實施有助于公司提高檢測分析能力，拓寬公司洗凈及再生服務工藝、 制程覆蓋范圍，進一步提升客戶服務水平，鞏固核心客戶的市場份額，助力公司品 牌影響力和市場占有率的進一步提升。

四、盈利預測

公司聚焦于半導體和顯示面板兩大領域，專注于為半導體及顯示面板生產廠商提供 一站式設備精密洗凈服務，為客戶生產設備污染控制提供一體化的洗凈再生解決方 案。公司主營業務包括：半導體設備洗凈服務、顯示面板設備清洗服務（TFT設備洗 凈、OLED設備洗凈、陶瓷熔射再生和陽極氧化再生服務），及半導體設備維修服務 等三大類。分業務來看：

1. 半導體設備洗凈服務

公司半導體設備洗凈業務已形成除光刻機設備外的其他各類半導體設備的成熟清洗 工藝解決方案，覆蓋了大部分中國大陸地區在運營的6英寸、8英寸、12英寸的晶圓 代工產線，與中芯國際、華力集成、華力微電子等國內行業巨頭建立了長期穩定的 合作關系，自主研發的10nm及以下半導體制程精密洗凈技術已成功量產應用于全球 知名半導體公司。

隨著5G、 AI、物聯網、自動駕駛、VR/AR 等新一輪科技逐漸走向產業化，未來十 年中國半導體行業有望迎來進口替代與成長的黃金時期。根據國際半導體協會 (SEMI)的統計數據，全球半導體行業將在2021至2023年間開始建設的84個大規模芯 片制造工廠中，預計中國大陸新建芯片制造工廠數量20座，多于其他地區，國內泛 半導體精密洗凈服務企業亦將迎來更多市場機會。同時，根據IHS Markit預測，先進 工藝在全球晶圓代工中的占比將從2020年的36%提升到2025年的超過50%。隨著半 導體行業先進制程設備的應用和占比提升，公司的高毛利率業務規模有望逐步提高。 同時，考慮到公司半導體設備洗凈服務逐步進入穩定發展階段、市場競爭加劇與拓 展新客戶的需要，我們出于審慎考慮，預測公司半導體洗凈服務毛利率略有下降。 我們預計公司半導體設備洗凈服務在2022-2024年的營業收入為2.54、3.05、3.48億 元，毛利率為45.68%、44.11%、43.29%。

2. 顯示面板設備清洗服務

公司顯示面板設備清洗服務主要包括TFT設備洗凈、OLED設備洗凈、陶瓷熔射再生 和陽極氧化再生服務。目前公司已研發并量產10.5代LCD制程洗凈工藝、6代OLED 制程洗凈工藝，在高世代LCD和OLED等TFT前沿領域已具備滿足客戶全方位洗凈需 求的能力，并具有較為先進的陶瓷熔射工藝，并已與京東方、華星光電、惠科、天 馬、和輝光電、維信諾等優質客戶建立了長期、穩定的合作關系。 近年來，受益于國家產業政策的鼓勵支持，以及下游消費終端市場的蓬勃發展，全 球顯示面板產業產能不斷向我國大陸地區集中。根據DSCC預測，我國大陸顯示面板 產能將持續大幅增加，預計到2022年我國大陸產能占比將達到56%。國內顯示面板 企業產能的不斷擴充、下游市場旺盛的需求為公司顯示面板設備清洗服務奠定了堅 實的市場基礎。

具體而言，1) TFT 設備洗凈服務板塊：由于競爭對手不斷布局清洗服務基地，低世 代 TFT設備洗凈領域（包括西南地區）競爭顯著加劇，隨著四川富樂德二期和安徽富樂德陸續投產，公司顯示面板設備洗凈服務能力大幅增加，在市場競爭加劇且公 司產能擴大情況下，預期公司TFT設備洗凈服務銷售價格將有所下降。隨著TFT設備 洗凈領域競爭格局已逐步趨于穩定，以及公司清洗經驗的積累，各類需清洗設備的 清洗服務技術、工藝配方均越發成熟，毛利率降幅下降。2) OLED設備洗凈服務板 塊：公司已逐步減少低世代洗凈服務，增加高世代洗凈服務和新品導入。后續隨著 公司生產步入穩定和市場競爭的加劇，我們預計公司該業務毛利率將有所下降。3) 陽極氧化+陶瓷熔射：隨著公司業務量的逐步擴大，毛利率漸趨穩定，考慮到材料價 格上升及新客戶合作較多、但前期合作規模較小、單位成本較高的影響，我們預計 公司該業務毛利率將有所下降。 綜上考慮，我們預計公司顯示面板設備清洗服務在2022-2024年的營業收入為1.89、 1.90、2.01億元，毛利率為34.79%、33.77%、35.08%。

3. HS翻新服務

公司提供的半導體設備維修服務（即HS翻新服務）是應用材料CMP研磨頭換新服務 的Total Kit ManagementTM （全面套件管理解決方案），綜合提供清潔、部件更換、 再組裝和測試等服務。截至目前，全球范圍內僅應用材料規模化的采用HS翻新服務 對CMP研磨頭進行換新服務，國內外其他廠商由于設備精度及工藝路線差異，對 CMP關鍵耗材的磨損較小，暫未開展規模化CMP研磨頭翻新服務。自2018年業務開 展以來，公司設備翻新服務品質逐步得到應用材料認可，前期采用來料加工模式， 2019年4月后改為進料加工，其下單金額逐年大幅增長、收入規模呈逐年上升趨勢。 考慮到公司HS翻新服務的主要客戶主要為應用材料，具有較為穩定的半導體設備出 貨量和翻修量，公司HS翻新服務的毛利率短期內應無明顯變化，基本保持穩定。 我們預計公司HS 翻新服務在2022-2024年的營業收入為1.46、1.75、2.10億元，毛 利率為20.00%、20.00%、20.00%。

編輯：999感冒靈