盛劍科技：立足廢氣治理，打造半導體廠務系統服務商

算力基建驅動廠務設備需求爆發

在全球AI算力需求持續增長的背景下，半導體晶圓廠大幅擴產成為必然趨勢。隨著工程推進，通脹壓力正由潔凈室環節向廠務設備環節傳導，導致海外廠務設備出現供給缺口。廠務設備作為潔凈廠房的環境支持系統，雖不直接參與芯片加工，但對產線穩定運行至關重要。國產廠務設備在性能上與海外廠商差距較小，且在重資產制造、模塊化預制和交付響應方面具備靈活性，產能儲備充足，有望實現出海突破。

特種風管出海“0-1”突破

廢氣處理是半導體生產的剛需環節，特種排氣風管是其中的核心組件。由于人力、材料及環保合規成本制約，海外特種風管廠商主觀上無增產意愿，客觀上無擴產能力。面對新建晶圓廠的特種風管供給缺口，EPC承包商或系統集成商不得不打破本地采購慣例，集中向中國特種風管廠商采購。盛劍科技作為半導體廢氣治理龍頭，特種風管產品擁有FM雙認證，當前產能儲備充足，有較大增產空間，有望充分受益下游需求釋放。

核心設備加速迭代驗證

公司產品不斷向潔凈室內部延伸，已布局工藝廢氣處理設備、真空設備及溫控設備。在先進邏輯芯片多重模板工藝和先進存儲芯片3D堆疊工藝的推動下，沉積、刻蝕等需求大幅提升，帶動配套真空、廢氣處理、溫控設備需求量顯著增加。國產Local Scrubber和溫控設備在成熟制程產線已基本實現高比例替代，國產化率快速提升。海外真空設備出現供給缺口，為國產真空泵廠商打開寶貴替代窗口。公司產品性能對標國際一線水準，新產能正式投產，核心產品已進入海內外頭部客戶產線驗證階段，訂單有望逐步兌現。