中科儀：中科院真空設備龍頭，半導體+光伏雙驅高增長

中科院背景真空設備領軍者，產能釋放迎增長

中科儀（920186.BJ）主營業務為干式真空泵和真空科學儀器設備的研發、生產、銷售，及相關技術服務。公司擁有三個國家級研發平臺，截至2025年12月31日，公司已經獲得授權的發明專利103項、實用新型專利20項，軟件著作權登記37項。我們看好公司募投放量，同時下游需求增加，預計公司2026-2028年的歸母凈利潤分別為2.26/2.64/3.14億元（不考慮交易性金融資產公允價值變動以及出售金融資產所得收入），對應EPS分別為1.01/1.18/1.40元/股，對應PE為87.6/75.2/63.3X，首次覆蓋，給予“增持”評級。

集成電路+光伏雙輪驅動，干式真空泵需求持續高增

公司的干式真空泵主要向集成電路、光伏產業銷售。根據WSTS預計，2025年全球集成電路市場規模將增至6,779億美元，較2024年增長25.65%。根據中國半導體行業協會統計數據，2016-2023年中國大陸集成電路產業收入年復合增長率為16.03%。根據公司測算，2024年全球集成電路產業對干式真空泵的需求為12.57萬臺，市場規模約125.74億元；中國大陸集成電路產業對干式真空泵的需求為5.21萬臺，市場規模約52.11億元；2024年我國光伏產業對干式真空泵的需求約6.7-8.2萬臺，按單臺均價7萬元估算，市場規模約47.0-57.2億元。

國產干式真空泵龍頭企業打破海外壟斷，打入國際晶圓大廠供應鏈

公司是集成電路領域出貨量最大的國產干式真空泵制造企業，是唯一在集成電路先進制程實現批量應用的國產企業，是唯一在清潔、中等、苛刻工藝均實現批量應用的國產企業。干式真空泵領域，公司的研發創新打破歐美及日本企業的長期壟斷，已在中國各領先晶圓制造企業實現大批量應用，廣泛支持國內主流晶圓制造企業，以及客戶A等國內主流集成電路設備制造企業，并已通過臺積電、大連Intel、SK海力士的測試驗證實現小批量出貨。公司干式真空泵產品也可廣泛應用于碳化硅、砷化鎵等化合物半導體的制備，并已實現批量交付。