天準科技在半導體明場檢測領域的國產替代進展及具身智能業務商業化落地情況如何？

天準科技在半導體量檢測設備領域通過“內生外延”并舉的策略，實現了顯著的國產突破。公司參股蘇州矽行半導體，專注于半導體前道明場納米缺陷檢測設備的研發與產業化。蘇州矽行的產品驗證節奏清晰：2024年，面向65nm節點的TB1000完成客戶產線驗證并投入實際使用；同年5月，面向40nm節點的TB1500率先獲得正式訂單，標志著國產明場檢測設備首次實現商業化突破。2025年，TB1500正式交付客戶量產線，完成商業化閉環；TB2000（適配14-28nm工藝）交付頭部晶圓廠試用。2026年4月，TB2000成功出貨國內頭部晶圓廠并開啟裝調，標志矽行半導體正式躋身國內明場檢測第一梯隊，與精測電子、中科飛測等處于同一制程層級。預計2026年Q4，14nm明場設備將完成內部驗證，持續向更先進制程節點延伸。此外，公司通過全資收購德國MueTec，獲取套刻量測等核心技術，形成了覆蓋缺陷檢測、關鍵尺寸量測、套刻精度量測等核心領域的半導體量檢測平臺。

在具身智能領域，天準科技于2024年設立蘇州天準星智，推進具身智能與智能駕駛雙驅并行。公司基于英偉達Jetson芯片平臺，發布了“星智”系列人形機器人大腦域控制器。從星智001開啟量產，到星智007實現大小腦一體化集中式計算，業務已邁入工程化交付階段。2025年，人形機器人大腦域控制器新簽訂單0.47億元，交付量達數千臺，客戶包括智元、銀河通用、傅里葉等主流廠商。2026年，公司發布星辰系列具身大腦域控制器矩陣，涵蓋低、中、高算力系列，覆蓋100至1000 TOPS算力區間，適配多種機器人場景。高階產品星辰H系列搭載NVIDIA Jetson Thor模組，性能大幅提升，支持即插即用，降低客戶適配難度。在智能駕駛方面，公司車規級自動駕駛域控制器基于地平線J5和J6芯片研發，已實現L4級車輛前裝量產，無人物流車域控制器亦收到兩家重要客戶的量產定點通知，展現了在智能駕駛領域的深厚積累與商業化能力。