電子特氣行業(yè)壁壘體現(xiàn)在哪？

電子特氣的研究、生產(chǎn)、銷售具有資金投入大、技術(shù)門檻高、用戶認(rèn)證周期長等特點，因此該行業(yè)具有較高的進(jìn)入壁壘。

1.技術(shù)門檻高：芯片薄化趨勢，特氣純度和配置精度要求提升

電子特氣對純度的要求較高，特別是用在半導(dǎo)體加工中，一般需達(dá)到 5N 級、6N 級及以上的純度要求，因此其制備中最主 要的環(huán)節(jié)除了合成外還包括純化，此外，氣體混配（組分配制）、氣瓶處理（存儲運輸）、分析檢測等環(huán)節(jié)對最終產(chǎn)品精度、 純度均有影響，因此也是特氣生產(chǎn)中不可忽視的重要環(huán)節(jié)。當(dāng)前，國內(nèi)頭部電子特氣生產(chǎn)企業(yè)的產(chǎn)品純度以 5N 為主，有 企業(yè)可實現(xiàn) 7N 級高純大宗氣體的生產(chǎn)，但 6N 及以上的電子特氣仍主要依賴進(jìn)口；國內(nèi)企業(yè)在配氣誤差、研磨光潔度、腐 蝕性氣體量值變化、氣體檢測精度等方面有了一定提升，但仍有再優(yōu)化空間。

集成電路制程技術(shù)的不斷迭代，從大規(guī)模向超大規(guī)模和極大規(guī)模發(fā)展，晶圓尺寸從 4 寸、6 寸、8 寸向 12 寸、14 寸突破， 芯片線寬從 28nm、14nm 向 7nm 甚至 5nm 突破，高端芯片對特氣的純度要求也在不斷提升，特氣純度每提升一個 N 級， 粒子、金屬雜質(zhì)含量濃度每降低一個數(shù)量級，都將帶來工藝復(fù)雜度的顯著提升；混合氣配比方面，隨著產(chǎn)品組分的增加、 配制精度的上升，其配制過程的難度與復(fù)雜程度也顯著增大。

電子特氣的主要合成方法有電解法、化學(xué)法和電解-化學(xué)法等，主要純化方法有吸附法、精餾法、吸收法、膜分離法以及可 滿足更高純度要求的離心法、吸氣劑法、催化凈化法及冷凍法等。國內(nèi)企業(yè)主要采用精餾、吸附等方式提純，更高純度要 求技術(shù)的產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用仍有待突破。目前國內(nèi)在新技術(shù)研發(fā)上有了一定突破，中船重工( 邯鄲) 派瑞特氣的徐海云等采用乙醇 鈉-無水乙醇溶液對一氟甲烷粗氣進(jìn)行吸收處理，該法能夠有效吸收一氟甲烷粗氣中的酸性雜質(zhì)并降低含水量，再通過精餾 等過程可制得電子級一氟甲烷；昊華氣體的張金彪等采用活性金屬 Cu、Mn 與 Ca、Al、Zn 的混合物（Cu+Mn 質(zhì)量分 數(shù)>50%）對四氟化碳粗氣中的三氟化氮雜質(zhì)在催化劑（鉻或鎳的氟化物）作用下進(jìn)行氟化，該方法最終可將四氟化碳中的 三氟化氮雜質(zhì)含量降至 1×10-6 以下。

2. 認(rèn)證周期長：集成電路領(lǐng)域的客戶認(rèn)證周期長達(dá) 2-3 年

特氣的質(zhì)量對集成電路、顯示面板產(chǎn)品的精密度影響極大，因此下游客戶尤其是集成電路、顯示面板、光伏能源、光纖光 纜等高端領(lǐng)域客戶對氣體供應(yīng)商的選擇均需經(jīng)過審廠、產(chǎn)品認(rèn)證 2 輪嚴(yán)格的審核認(rèn)證，其中光伏能源、光纖光纜領(lǐng)域的審 核認(rèn)證周期通常為 0.5-1 年，顯示面板通常為1-2 年，集成電路領(lǐng)域的審核認(rèn)證周期長達(dá) 2-3 年。 目前，華特氣體、金宏氣體、中船特氣等頭部氣體廠商已成為中芯國際、長江存儲、華虹半導(dǎo)體等國內(nèi)集成電路生產(chǎn)企業(yè) 的特氣主要供應(yīng)商，同時產(chǎn)品陸續(xù)獲得了臺積電、聯(lián)華電子、德州儀器、海力士等海外領(lǐng)先企業(yè)的認(rèn)證，部分產(chǎn)品已進(jìn)入 相關(guān)企業(yè)供應(yīng)鏈，未來隨著國內(nèi)特氣企業(yè)產(chǎn)品矩陣的完善，一體化供應(yīng)服務(wù)的優(yōu)化，有望進(jìn)一步成為國內(nèi)外集成電路、顯 示面板等生產(chǎn)企業(yè)的核心供應(yīng)商。

3.資金投入大：項目投建金額超億元，投資回收期長達(dá) 5-6 年

梳理國內(nèi)上市的氣體公司新增的特氣項目資本開支和生產(chǎn)周期可見，電子特氣項目具有投資金額大、投資回收期長的特點， 項目平均生產(chǎn)周期在 2-3 年，擬投入金額基本都超億元規(guī)模，平均投資回收期在 5-6 年。但是隨著國內(nèi)半導(dǎo)體國產(chǎn)替代進(jìn) 程加快，下游產(chǎn)能規(guī)模的不斷擴大，國內(nèi)電子特氣需求增加，且高壁壘下特氣產(chǎn)品具高毛利高回報特點，因此國內(nèi)氣體企 業(yè)通過定增和發(fā)行可轉(zhuǎn)債募資等方式積極進(jìn)行電子特氣產(chǎn)能擴張、品類拓展，其中，華特氣體、凱美特氣、金宏氣體、南 大光電、和遠(yuǎn)氣體、昊華科技等均有超 10億元規(guī)模的資金投入到新增電子特氣項目中，資本開支率處于較高水平。