電子特氣行業深度報告：半導體新周期將至，國產替代如火如荼.pdf

電子特氣行業深度報告：半導體新周期將至，國產替代如火如荼。基本介紹：芯片加工之“糧食”，國產替代空間廣闊。1）電子特氣主要 用于集成電路、顯示面板、LED、光伏電池領域，貫穿晶圓加工的制備 外延片、清洗、沉積和氧化成膜、光刻、刻蝕、摻雜（離子注入/擴散） 各環節，純度要求在 5N (99.999%)及以上。2）具體產品包括氟碳類、 氟氮類、硅烷氣、磷烷/砷烷、氫化物、光刻氣(稀有氣體)等，其中含氟 特氣（三氟化氮、四氟化碳、六氟化鎢）用量規模大、國產化率較高， 但高純六氟丁二烯、六氟乙烷、硅烷氣、高純磷烷/砷烷、稀有氣體等特 氣仍依賴進口，目前國內企業相關產品的自研技術已實現突破，未來三 年內將加速進入產業化。3）2021 年全球電子特氣市場規模為 45.4 億美 元，yoy+8.4%；中國電子特氣市場規模約 216 億元，yoy+24.1%，占 全球的 70%左右； SEMI 預計到 2025 年我國電子特氣市場規模將提升 到近 317 億元，五年 CAGR 約 16.14%，占全球電子特氣市場份額不低 于 70%。國內市場空間更為廣闊，國產替代進程有望再推進。

需求驅動力：半導體產業上行周期將至， ChatGPT 興起或成新增長 級。1）半導體行業新一輪上行周期待開啟，國產芯片擴產將帶來特氣 需求起量：現階段半導體行業仍處于主動去庫中，預期 23H2 需求漸修 復、庫存逐步去化，2024 年需求有望加速上行。經梳理，預計到 2025 年國內企業新增芯片產能合計將達 374.1 萬片/月，測算得擴產邏輯芯片 共需大宗特氣約 69 萬噸、電子特氣約 587 噸。2）ChatGPT 興起帶動 GPU 需求增加，未來該技術廣泛應用需要大算力支撐，或將驅動芯片產 業鏈開啟新增勢。3）目前，全球液晶顯示器面板價格企穩，電視面板 價格已全線調漲，預期 2023 年下半年顯示面板產業有望迎來改善；同 時，近年來全球面板產業不斷向我國轉移，國產替代進程加快。4）光 伏市場需求持續高增，電子特氣在該領域的應用有望保持穩增態勢。

電子特氣行業具技術門檻高、認證周期長、資金投入大等高壁壘。1） 技術門檻高：芯片薄化趨勢下，對特氣純度和配置精度要求大幅提升， 國內企業對特氣提純主要使用精餾、吸附法，提取更高純度的“離心 法”“吸氣劑法”“催化凈化法”等產業化應用仍有待突破。目前國內特 氣產品純度以 5N 為主，6N 及以上仍主要依賴進口。2）認證周期長： 高端領域客戶對氣體供應商的選擇需經審廠、產品認證 2 輪嚴格審核， 其中光伏能源、光纖光纜領域的審核認證周期通常為 0.5-1 年，顯示面 板為 1-2 年，集成電路領域的長達 2-3 年。3）資金投入大：項目投建 金額基本超億元，平均生產周期 2-3 年，投資回收期長達 5-6 年。其 中，華特氣體、凱美特氣、金宏氣體、南大光電、和遠氣體、昊華科技 等企業均擬投資超 10 億元資金，用于電子特氣項目的改擴建。