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京儀裝備研究報告：半導體專用溫控廢氣處理設備龍頭，最受益先進制程擴產。本土半導體工藝輔助設備龍頭，業績持續快速增長。公司是本土半導體工藝輔助設備龍頭，Chiller&L/S唯一國內均可量產供應商，產品充分適配國內最先 進的14nm邏輯芯片和192層3D NAND存儲芯片產線，供貨長江存儲、中芯國際、長鑫科技、華虹等頭部客戶。受益于國內晶圓廠擴產&國產替代，公司業績 持續快速增長。1）收入端：2023年公司營業收入達到7.42億元，2019-2023年CAGR為33.9%，2024Q1-3收入為7.72億元，同比+28%。2024Q3末公司存 貨17億元，同比+116.5%；合同負債6.2億元，同比+86.3%，在手訂單充足，將保障短期收入端快速增長。2）利潤端：2020年公司扭虧為盈，2023年歸母 凈利潤1.19億元，同比+30.8%，2020-2023年CAGR高達111%，利潤端表現較收入端更加出色。2020-2024Q1-3年公司銷售凈利率分別為1.82%、11.73% 、13.73%、16.05%和16.8%，盈利水平持續提升。

先進制程擴產趨勢下，Chiller&L/S是價值量提升最明顯環節。大基金三期落地彰顯國家解決半導體“卡脖子”決心，先進邏輯+存儲將是主要投資方向， 疊加AI驅動下先進制程擴產的產業趨勢已經確立。節點升級將大幅提升資本開支，不僅是核心設備總用量提升，先進制程設備單臺價值量同樣提升明顯， Chiller&L/S價值量提升尤為明顯。以Chiller為例，先進邏輯7nm節點每萬片需求量將提升3-4倍；先進NAND提升更為明顯，高深寬比蝕刻需引入低溫蝕刻 技術來滿足工藝需求，每萬片新增超低溫Chiller需求約100臺，且單價大幅提升，可見Chiller價值量提升顯著高于其他工藝制程設備，此外，先進制程擴產同 樣帶來L/S價值量提升。根據我們測算，2024-2025年中國大陸Chiller&L/S合計市場規模達到59.8/64.1億元，高于Chiller&L/S各1%的價值量占比測算。

京儀裝備最先受益先進制程擴產，維保后市場打開成長空間。1）不同于其他前道工藝設備，Chiller&L/S可完全實現進口替代，公司先進制程收入敞口接近 100%，考慮到公司Chiller在大陸頭部先進制程客戶接近實現獨供，短期最先受益先進制程晶圓廠擴產，以2023分別為15億元、33元億計算，公司 Chiller&L/S的市占率為29%、11%，中長期看公司Chiller&L/S整體市占率仍有較大提升空間 。2）后服務市場收入已成為海外半導體設備龍頭重要收入來源 ，23財年AMAT/LAM后市場收入占比高達22%/38%可以得到印證。公司后市場服務主要包括零配件和維保服務，IPO募投著力布局L/S核心零部件火炬頭的 自制產能。2023年公司后市場收入僅為6547萬元，收入占比僅9%，遠低于海外成熟公司后市場收入占比，2019-2023年公司累計實現設備收入21.64億元， 按照后市場收入占設備價值量10%，公司自有設備配套的后市場空間約2.2億元，我們判斷隨著公司Chiller&L/S持續大規模出貨，后服務業務有望加速增長， 成為公司重要的增長點。