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中微公司（688012）研究報告：本土刻蝕設備中流砥柱，多線布局助力國產替代。國產刻蝕設備龍頭企業，產品覆蓋海外一線大廠及國內頭部廠商。中微成立 于 2004 年，公司核心高管及技術人員多數具有國際半導體大廠從業經 驗，CEO 尹志堯博士是近 300 項海內外專利的主要發明人。公司主營等 離子體刻蝕設備、薄膜沉積設備以及空氣凈化設備，產品覆蓋了半導體 集成電路制造、先進封裝、LED 生產、MEMS 制造等領域。公司 2022 年 全年預計實現營收 47.4 億元，同比增長 52.5%，實現歸母凈利潤區間為 11.70 億元，同比增長 15.66%；實現扣非歸母凈利潤 9.19 億元，同比 增長 183.44%。

刻蝕機業務高速發展，CCP 市占率不斷提升，ICP 設備快速放量。公司 CCP 設備性能先進，在國產設備中處于絕對領先地位，已切入國際知名廠商 5nm 產線，國內市場份額持續提升，2022 年公司已累計有 2320 個反應臺在生產 線運轉；ICP 設備 2022 年上半年收入 4.13 億元，同比增長 414.08%，截至 2022 年 6 月底，ICP Nanova 設備已經順利交付超過 220 臺反應腔，在客戶 端完成驗證的應用數量也在持續增加。截至 2022 年中，本土刻蝕設備國產 化率約兩成，中美貿易摩擦持續刺激國產設備的需求，公司作為國產刻蝕設 備龍頭有望持續受益。

MOCVD 設備保持領先地位，LPCVD、EPI、ALD 有望成為業績新增長點。公司 MOCVD 在 Mini-LED 中的藍綠光生產線取得絕對領先地位，針對 Micro-LED 的 新品設備也在積極研發，布局于金屬鎢填充的 LPCVD 設備、鍺硅外延生長的 Epi 設備和原子層沉積的 ALD 設備研發順利，部分已經進入樣機制造和調試 階段，預計將于 23 年陸續推出，有望成為公司新的業務成長點。

投資布局量測設備，有望成為國產替代新軍主力。量測設備貫穿整個晶圓制 造環節，設備價值約占產線價值的 13%，也是前道國產化率最低的環節之一， 截至 2022 年國產化率僅約 1%。KLA 的退出提高了國產量測設備環節的重要 性，國產量測設備有望進入國產替代加速期，中微 22 年對睿勵儀器追加 1.08 億元現金投資，持股比例從 20.4%變更為 29.4%，持續投資布局工藝檢測設 備領域，有望成為國產量測設備主力，同時與制造設備形成良性協同作用。