電子氣體種類、應用領域及市場現狀如何？

半導體制造的關鍵原材料，產品種類繁多。

電子特氣是半導體材料制造的關鍵原材料，下游應用領域廣泛。工業氣體是工業中使用的常溫常壓下呈氣態的物質， 廣泛應用于現代工業的各個領域，根據其用量大小可以分為大宗氣體和特種氣體兩類，其中大宗氣體又可分為空分氣 體（氧氣、氮氣、氬氣及稀有氣體）和合成氣體（CO / H2、乙炔、CO2等），特種氣體根據用途不同可分為電子特種 氣體、醫療保健用氣體、食品飲料用氣體、航天用氣體等。

電子氣體種類繁多，按照用途劃分為電子特種氣體和電子大宗氣體兩類。電子大宗氣體一般用作電子工業生產的環境 保護氣、載氣等，常用于高溫熱退火、保護氣體、清洗氣體等環節。電子特種氣體普遍應用于半導體芯片、液晶面板 材料制造等各個工藝流程中，比如清洗、沉積、光刻、刻蝕、離子注入、成膜、摻雜等環節。截至 2020 年，僅特種 氣體中的單一組分氣（不包含混合氣）已有 260 種，具有相近化學組成的同系物通常具有相似化學性質：例如氟化 物（六氟乙烷、三氟化碳）都具有腐蝕性，常用作半導體刻蝕氣；硅烷與乙硅烷都可用作氣相沉積成膜工藝。

電子特氣主要應用于半導體領域，在刻蝕和摻雜工藝中使用占比較高。電子特種氣體具有高技術、高附加值的特點， 是半導體、液晶顯示面板、光伏、LED 等電子工業生產中必不可少的基礎和支撐性原材料，被廣泛應用于清洗、光刻、 刻蝕、摻雜、外延沉積等工藝中。根據 Linx 統計，全球電子特氣下游應用市場中半導體占比為 73.1%，顯示面板為 19.4%，化合物半導體/LED 為 4.4%，光伏為 3.1%；中國電子特氣下游應用市場中半導體、顯示面板、光伏分別占 比 43%、21%、13%。根據成分與用途的不同，可以將電子特氣分為：光刻用氣、刻蝕用氣、摻雜用氣、外延沉積 用氣等，其中，刻蝕用氣、摻雜用氣用量較多，2021 年占比分別為 36%和 34%。

近年來全球工業氣體市場持續穩步增長，中國工業氣體市場發展潛力大。據億渡數據，2021 年全球工業氣體市場規 模 9432 億元，CAGR 為 6.97%，預計到 2026 年將達到 13299 億元，CAGR 為 7.11%。2021 年中國工業氣體行業 的市場規模 1798 億元，CAGR 為 10.39%，預計到 2026 年將達到 2842 億元，CAGR 為 9.59%。雖然中國工業氣體 行業較全球起步晚，與國際氣體規模還存有較大差距，但中國市場增速遠高于以美國為代表的發達國家，同時在國家 政策推動下，以電子特種氣體為代表的新興用氣需求不斷爆發，未來中國工業氣體市場發展潛力巨大。

中國特種氣體市場規模 CAGR 高達 18%，預計 2026 年將超 800 億元。近年來，中國特種氣體市場規模快速增長， 從 2017 年的 175 億元增長至 2021 年的 342 億元，CAGR 高達 18%。根據億渡數據，預計到 2026 年中國特種氣體 行業的市場規模將增長到 808 億元，CAGR 為 18.76%。

2022 年中國電子特氣市場規模超 200 億元，預計未來仍將保持高速增長。近年來全球電子特氣市場規模逐年增長， 據國際半導體產業協會（SEMI）數據，2017 年全球電子特氣市場規模為 37 億美元，2022 年已經達到 50 億美元， 預計到 2025 年全球市場規模將達到 60.23 億美元，CAGR 為 7.3%。我國正積極承接全球第三次半導體產業轉移， 下游市場對電子特種氣體的需求快速提升，2022 年中國電子特氣市場規模為 220.8 億元，同比增長 12.77%，未來幾 年，由于先進制程及存儲技術需求增加、顯示市場持續增長、“碳中和”及“碳達峰”對光伏需求的增加，預計電子 特氣市場需求將繼續保持高速增長。

中國特氣市場主要被外資占據，國產化比例有望不斷提高。全球和中國電子特氣市場均主要被海外公司占據，主要生 產商分別為美國空氣化工、德國林德集團（林德集團和普萊克斯合并）、法國液化空氣和日本酸素（原名大陽日酸）， 合計占據全球電子特氣 91%的市場份額，并且在中國占據主導地位，據 TECHCET，2020 年外資在中國電子特氣市 場的合計市占率約 85%，據前瞻產業研究院預測，到 2025 年中國電子特氣市場的國產化占比將提高到 25%。