炬光科技泛半導體制程如何？

泛半導體制程：內生+外延，由半導體設備元器件、模 塊到下游設備一體化布局

 光刻：供應光刻機曝光系統中核心元器件光場勻化器 供應全球最頂尖的 AMSL EUV 光刻機曝光系統中核心元器件光場勻化器。公司核心光學 元器件光場勻化器主要解決激光光場不均勻的問題，激光光場強度不均勻會造成在半導體 晶圓表面曝光不均，從而影響晶圓加工成品率。通過光場勻化器對激光光斑進行勻化，可 實現對半導體晶圓表面均勻曝光，提升良率。光刻機是生產半導體集成電路芯片的核心設 備，也是我國在半導體集成電路芯片制造設備領域的主要瓶頸之一。公司為半導體光刻應 用領域提供光刻機曝光系統中的核心激光光學元器件光場勻化器，目前是荷蘭 ASML 光學 設備核心供應商 A 公司的重要供應商，同時也應用于國內主要光刻機研發項目和樣機中。 光刻應用下游需求旺盛，2022H1 光場勻化器同比增長 88.64%，公司在德國多特蒙德子 公司擴產建設了大規模紫外激光光場勻化器研發測試中心，以滿足更大的市場需求。

平板顯示：推出平板顯示激光剝離、激光退火系統，供應多家國際知名半 導體和平板顯示設備制造商 激光剝離是柔性 OLED 面板生產的關鍵制程之一，利用激光能量實現剝離基板與 OLED 器件的分離。激光退火是 OLED 和 LCD 生產的關鍵制程之一，可使晶硅轉換成低溫多晶 硅（LTPS），是顯示屏實現高清分辨率的關鍵環節。 全球平板顯示激光剝離設備被海外廠商壟斷，國產化率較低。根據 QYResearch 數據， 2021 年全球顯示面板激光剝離設備市場空間約 2.75 億美金，預計 2028 年增長至 3.07 億 美元。其中，2021 年國內市場規模約 1.55 億美元，預計 2028 年將增長至 1.83 億美元， 占全球市場規模的 59.6%。根據 QYResearch 數據，全球顯示面板激光剝離設備主要被 海外廠商壟斷，前五大廠商分別為 AP Systems、DISCO Corporation、Philoptics、Coherent、 EO Technics，合計占比超過 70%，其中，AP Systems 占比超過 45%。

集成電路：推出半導體集成電路晶圓退火系統，客戶涵蓋國內外頭部半導 體設備集成商及晶圓代工廠，實現進口替代、進口淘汰 激光退火設備是指采用高能激光束進行自動化退火工藝加工的專用設備。激光退火設備的 主要功能是將特定形狀且能量分布均勻的束斑投射到半導體晶圓上，并對晶圓進行退火掃 描和加工。相較于傳統的爐管退火及快速退火技術，激光退火由于具備瞬時溫度高、作用 時間短、熱預算低、可選區加工等優勢，能夠更好地滿足薄片加工和高效激活的工藝要求。 目前，激光退火設備已廣泛應用于尖端邏輯芯片制造領域。激光退火設備可分為功率激光 退火設備和 IC 前道激光退火設備。其中，功率激光退火設備主要用于功率半導體的生產， 而 IC 前道激光退火設備主要用于 40nm 及以下制程的芯片制造。 根據Business Research Insights 數據，2021年全球激光退火設備市場規模7.01 億美元， 預計 2028 年增長至 9.52 億美元。全球激光退火設備主要被海外廠商壟斷，主要包括 Mitsui Group(JSW)、Sumitomo Heavy Industries、SCREEN Semiconductor Solutions、Applied Materials、Veeco 等，國內廠商主要包括華卓精科、上海微電子、成都萊普科技等。

半導體檢測：為半導體集成電路檢測設備提供核心光學元器件 半導體檢測和量測設備市場規模高速增長。檢測和量測環節貫穿集成電路制造全過程，是 保證芯片生產良品率非常關鍵的環節。隨著制程越來越先進、工藝環節不斷增加，對工藝 控制水平提出更高要求，制造過程中的檢測設備與量測設備需求量快速增長。根據 VLSI Research 數據，2020 年全球及中國半導體檢測和量測設備市場空間分別達 84.4、25.8 億美元，同比 10.3%、22.9%。

從產品結構看：檢測設備占比 62.6%，包括無圖形晶圓缺陷檢測設備、圖形晶圓缺陷檢測 設備、建模檢測設備等；量測設備占比 33.5%，包括三維形貌量測設備、晶圓介質薄膜量 測設備、套刻精度量測設備、關鍵尺寸量測設備、建模量測設備等。從競爭格局看：全球 半導體檢測和量測設備主要被國外設備企業壟斷，包括美國科磊半導體、應用材料、日立 等。根據 VLSI 數據，科磊半導體占據全球 50.8%份額，全球 CR5 達 82.4%。 公司布局半導體集成電路檢測設備上游核心光學元器件。公司的激光光學元器件產品在半 導體集成電路檢測設備中得到應用，包括單（非）球面柱面透鏡、光場勻化器、微光學透 鏡組等，客戶涵蓋美國科磊半導體、美國 Zygo 公司等國內外知名企業。

外延并購：收購韓國COWIN，切入顯示面板修復設備、光罩（掩模版） 修復設備及泛半導體光學檢測設備領域 2022年9月10日，公司發布公告，擬支付現金3.50億元收購標的公司COWIN DST CO.， LTD 100%股權。標的公司是全球領先的顯示面板修復設備、光罩（掩模版）修復設備以 及泛半導體光學檢測設備提供商，在泛半導體行業擁有超 17 年的技術積累，是全球少數 幾家掌握全部 LCD/OLED 激光修復技術的設備公司之一，相關設備已在中日韓主流面板 廠得到大規模量產應用。

顯示面板修復設備：COWIN 公司的 Display Repair 設備包含了平板顯示全制造過程 中的修復設備，供應平板顯示行業 LGD、AUD 等龍頭企業； 

光罩（掩模版）修復設備：COWIN 公司是全球首家成功交付 G8 Halftone 光罩修復 設備的公司，目前產品已覆蓋 Photronics、DNP、Newway 等主流掩模版企業。并且 其最新研發的 super PMR 技術已經獲得 Photronics、Toppan 等全球掩模版龍頭企業 認可，為未來提供銷售增長動力。

泛半導體光學檢測設備：COWIN 公司最新研發的光學檢測設備屬于泛半導體檢測領 域設備，相比市場上其他檢測設備競爭優勢顯著：1）首家彩色圖像檢測：利用高精 度光學檢測技術對表面進行彩色圖像檢測，相比傳統黑白灰檢測方式擁有更高的檢出 率；2）誤差率更低；3）處理速度更快。公司目前已形成樣機，并通過韓國客戶的測 試及認可。

收購 COWIN 的戰略意義：公司擬通過本次收購獲得半導體制程領域的系統集成能力、工 藝開發能力，以及對于先進泛半導體設備市場的理解和優質客戶資源的積累，增強公司“三 環”業務戰略的第三環，即針對特定營業提供完整系統、整體接近方案，從而完成在泛半 導體制程領域，從核心元器件和原材料，到應用模塊、模組和子系統，再到特定應用系統、 整體解決方案的全面布局。